基于硝酸鈉乙二醇溶液的鋁微縫結(jié)構(gòu)電解切割試驗(yàn)
關(guān)鍵詞：鋁箔 微細(xì)加工 電解加工 微縫結(jié)構(gòu)
摘要：鋁由于其低密度和良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性而被廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,其中具有群縫結(jié)構(gòu)的鋁微器件在微機(jī)電領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用前景,但鋁箔的微細(xì)加工較困難。針對(duì)鋁微縫結(jié)構(gòu)的加工,提出一種基于硝酸鈉乙二醇溶液的電解切割方法,分析了鋁在不同溶劑的硝酸鈉溶液中極化曲線的基礎(chǔ)上,對(duì)電壓、頻率、占空比三個(gè)參數(shù)進(jìn)行了試驗(yàn)研究,最終在鋁箔表面加工出了總長2 mm、平均縫寬275.25μm、縫寬標(biāo)準(zhǔn)差6.53μm的"L"形微縫結(jié)構(gòu),微縫形貌良好且表面無雜散腐蝕。
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