我國MEMS傳感器技術產(chǎn)業(yè)升級策略研究
碩天鸞; 黃偉 中國信息通信研究院信息化與工業(yè)化融合研究所
關鍵詞：傳感器 mems 半導體 升級策略
摘要：通過總結MEMS傳感器整體發(fā)展趨勢，跟進技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展動態(tài)，分析重點應用領域與技術環(huán)節(jié)，梳理總結我國面臨的挑戰(zhàn)和問題，提出關鍵技術攻關、產(chǎn)業(yè)化應用推廣、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同等技術產(chǎn)業(yè)升級策略。
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