半導(dǎo)體光生電荷分離及遷移原位X射線(xiàn)光電子能譜儀表征分析系統(tǒng)的研制
關(guān)鍵詞：x射線(xiàn)光電子能譜儀 半導(dǎo)體 光生電荷
摘要：在確保X射線(xiàn)光電子能譜儀(XPS)原有超高真空系統(tǒng)及性能指標(biāo)的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)并研制出一套適用于半導(dǎo)體光生電荷分離及遷移的原位XPS分析測(cè)試系統(tǒng).將XPS與半導(dǎo)體光照體系相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了外載激發(fā)光源與X射線(xiàn)同步照射于半導(dǎo)體表面,觀(guān)測(cè)并記錄樣品中特征元素結(jié)合能峰位數(shù)據(jù).通過(guò)對(duì)比光照前后結(jié)合能峰位變化,判定光致激發(fā)半導(dǎo)體材料光生電荷分離及遷移的方向及確定其量化數(shù)據(jù).
分析測(cè)試技術(shù)與儀器雜志要求:
{1}論文中計(jì)量單位、外文字母應(yīng)用準(zhǔn)確，插圖和照片應(yīng)清晰。
{2}文稿務(wù)求論點(diǎn)明確、文字精練、數(shù)據(jù)可靠。
{3}投稿后3個(gè)月內(nèi)，未收到錄用通知，作者可自行處理。未被錄用的稿件一般不退稿，請(qǐng)自留底稿。
{4}內(nèi)文中的文字論述清楚明了，要使用規(guī)范詞語(yǔ)。
{5}參考文獻(xiàn)要求不少于5篇，一般只列入近幾年的最主要的已公開(kāi)發(fā)表的文獻(xiàn)：按期刊通用標(biāo)準(zhǔn)格式要求提供參考文獻(xiàn)完整信息：參考文獻(xiàn)序號(hào)應(yīng)按文中引用順序排列。
注：因版權(quán)方要求，不能公開(kāi)全文，如需全文，請(qǐng)咨詢(xún)雜志社
