基于50nm AlN/GaN異質(zhì)結(jié)的G波段放大器
關(guān)鍵詞：gan高電子遷移率晶體管 g波段 電子束直寫 功率放大器
摘要：報(bào)道了基于50nm柵工藝的AlN/GaN異質(zhì)結(jié)的G波段器件結(jié)果。在AlN/GaNHEMT外延結(jié)構(gòu)上,采用電子束直寫工藝制備了柵長(zhǎng)50nm的"T"型柵結(jié)構(gòu)。器件直流測(cè)試最大漏電流為2.1A/mm,最大跨導(dǎo)為700mS/mm;小信號(hào)測(cè)試外推其電流增益截止頻率和最大振蕩頻率分別為180GHz及350GHz。采用該工藝制備的共面波導(dǎo)(CPW)結(jié)構(gòu)的放大器工作電壓6V,在162GHz小信號(hào)增益大于10dB。166GHz連續(xù)波峰值輸出功率11.36dBm,功率密度達(dá)到684mW/mm,功率密度水平達(dá)到GaN器件在G頻段的高水平。
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