基于光纖光柵的高靈敏度位移傳感器研制
郭振; 張文華; 楊輝; 代志國; 吳昺炎; 周少玲; 高侃 中國電子科技集團公司第二十三研究所; 上海200437; 上海光傳輸與光傳感工程技術研究中心; 上海200437
關鍵詞：位移傳感器 光纖布拉格光柵 靈敏度
摘要：研究了一種基于光纖光柵的高靈敏度位移傳感器。首先理論分析了圓環(huán)結構光纖光柵型位移傳感器的原理并確定結構參數。然后采用非膠封裝工藝和雙光柵工作方式,解決了光柵的封裝穩(wěn)定性和溫度-應力交叉敏感問題。最后根據實際需求制作樣品并進行試驗驗證,測得該傳感器的位移靈敏度為116.9 pm/mm,相當于單光柵結構傳感器的平均位移靈敏度58.6 pm/mm的1.99倍,且在20~70℃溫度范圍內,波長的測量誤差值為±3 pm,有效控制了光纖光柵型傳感器的溫度-應力交叉敏感問題。
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