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關(guān)鍵詞：熱絲化學(xué)氣相沉積法 硬質(zhì)合金銑刀 金剛石薄膜 切削實驗 

摘要：利用熱絲化學(xué)氣相沉積法(HFCVD)在硬質(zhì)合金立銑刀上沉積金剛石薄膜,通過掃描電子顯微鏡和拉曼光譜儀對制備的薄膜進(jìn)行表征,并利用制備的涂層銑刀和未涂層的硬質(zhì)合金銑刀進(jìn)行切削實驗以對比兩種刀具的切削性能。結(jié)果表明:涂層刀具上的金剛石薄膜連續(xù)均勻,結(jié)構(gòu)致密,無明顯缺陷;切削實驗中,涂層刀具的耐磨性好于硬質(zhì)合金刀具,使用壽命有了明顯地提高。

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