硼及其協(xié)同摻雜金剛石薄膜的研究
關(guān)鍵詞：金剛石薄膜 硼及其協(xié)同摻雜 電學(xué)性能 改性方法
摘要：在金剛石中摻入雜質(zhì)元素會(huì)在保留其原有優(yōu)良性能的基礎(chǔ)上獲得其他性能,如摻入硼元素可以使金剛石成為P型半導(dǎo)體;協(xié)同摻雜其他元素可以改善金剛石的電學(xué)性能、催化活性等,甚至可以改變硼摻雜金剛石薄膜的導(dǎo)電機(jī)制.本文詳細(xì)介紹了硼及其協(xié)同摻雜金剛石薄膜的制備方法、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及微觀形貌,綜述了影響其性能的因素及改性方法.
金剛石與磨料磨具工程雜志要求:
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