關(guān)鍵詞:工業(yè)硅 偏析 凝固速度 微觀結(jié)構(gòu)
摘要:針對工業(yè)硅凝固過程中雜質(zhì)的富集與偏析行為,通過控制工業(yè)硅凝固過程的凝固速度,研究了工業(yè)硅中雜質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)和分布規(guī)律.實驗結(jié)果表明:凝固速度為2℃/min時,硅中雜質(zhì)主要以FeAlSi、FeSi2、Si2Ti2V形式在晶界上富集;凝固速度4℃/min時,雜質(zhì)主要以FeTiSi和VSi3形式存在.在此基礎(chǔ)上,對比分析了凝固速度對工業(yè)硅中雜質(zhì)偏析行為的影響規(guī)律,發(fā)現(xiàn)Ti和V的析出數(shù)量和析出比例受Si、Al、Fe三種元素析出量的影響:當(dāng)Al的析出量小時,Ti和V的析出量增加,當(dāng)Si與Fe的析出比Si∶Fe從4∶1變?yōu)?∶1時,Ti和V的析出比減小;Mn在工業(yè)硅中的擴(kuò)散比較均勻,偏析量較小且未超過1%,不受凝固速度的影響.
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