基于復(fù)合封裝薄膜的水汽透過率測(cè)試系統(tǒng)研究
關(guān)鍵詞：薄膜封裝 活潑金屬電學(xué)法 水汽透過率
摘要：基于活潑金屬（鈣、鎂）電學(xué)法設(shè)計(jì)研發(fā)了用于老化測(cè)試環(huán)境下的水汽透過率測(cè)試儀器，測(cè)試精度達(dá)到10^-6g·m-2·d-1．利用本測(cè)試儀器測(cè)試了不同疊層次數(shù)的Al2O3／ZrO2復(fù)合薄膜的水汽透過率，結(jié)果表明，多次疊層后的Al2O3／ZrO2復(fù)合薄膜的水汽阻隔性能得到了較好提升．
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