等離子體輔助原子層沉積技術(shù)包覆硅基氮化物熒光粉的結(jié)果性能研究
張子欣; 劉忠偉; 楊麗珍; 陳強 北京印刷學(xué)院; 等離子體物理與材料實驗室; 北京102600
關(guān)鍵詞：等離子體輔助原子層沉積 包覆 硅基氮化物熒光粉
摘要：采用等離子體輔助原子層沉積的方法,通過振動流化床,在硅基氮化物熒光粉表面保形地包覆了氧化鋁薄膜。分別用傅立葉紅外光譜(FTIR)、掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)和pH計對包覆前后熒光粉的表面成分、形貌和耐水性進行了測試。最后,還用熒光光譜儀對包覆前后熒光粉的PL發(fā)光進行了表征。結(jié)果表明,氧化鋁被保形地包覆在熒光粉顆粒表面。包覆大大提升了熒光粉在水中的穩(wěn)定性。包覆一定厚度的氧化鋁對發(fā)光性能有所提升并可以略微降低熒光粉的色溫。
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